Мощное и стабильное питание для высокоточных систем
Извлечение и ускорение ионов с границы плазмы анодного столба самостоятельного тлеющего разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях
Устройство предназначено для обеспечения питанием ионно-лучевого источника, используемого в вакуумных устройствах нанесения тонкопленочных покрытий. Устройство имеет стабилизированный регулируемый высоковольтный выход.