Двунаправленный ионно-лучевой источник очистки (травления) ДИЛИО-90 «Колизей» был разработан для ионно-лучевой обработки, очистки и активации поверхности в вакууме двух пластин, ниобата лития и кремния диаметром 3 дюйма (76 мм) и толщиной 0,5 мм. Источник осуществлял возвратно-поступательное движение относительно объектов и воздействовал на поверхность ионами рабочего газа аргона с энергией 1,5 / 2 кЭв. После чего пластины сдвигались с усилием 500 / 1000 кг и происходило физическое соединение двух разнородных материалов при помощи слабых сил Ван дер Вальса. При любых других условиях соединить два разнородных материала не представляется возможным. Данное устройство позволяет одновременно вести подготовку и активацию сразу двух подложек при сращивании, напылении и необходимого травления. Возможность использования каждой из сторон совместно и раздельно открывает большой потенциал